Kimikatet për proceset gjysmëpërçuese

cc09bd33a0ddd2aaadac4a8a4d3008a1Prodhimi i gjysmëpërçuesve është kryesisht një proces i lidhur kimikisht, ku deri në 20% të hapave të procesit janë pastrimi dhe përgatitja e sipërfaqes së vaferës:

Ne jemi mësuar t'u referohemi materialeve kimike të përdorura në fabrikimin e meshës si kimikate procesi, të cilat vijnë në forma të ndryshme kimike (të lëngshme dhe të gazta) dhe janë të kontrolluara rreptësisht në pastërti.Funksionet kryesore të këtyre kimikateve të procesit janë si më poshtë:

Pastroni sipërfaqen e vaferës me tretësirë ​​kimike të lagësht dhe ujë ultra të pastër;

Vafera silikoni doping me jone me energji të lartë për të marrë materiale silikoni të tipit P ose N;

Depozitimi i shtresave të ndryshme të përçuesve metalikë dhe shtresave të nevojshme dielektrike ndërmjet shtresave përçuese;

Gjeneroni një shtresë të hollë SiO2 si material dielektrik i portës kryesore të pajisjeve MOS;

Përdorni gravurë të zgjeruar me plazmë ose reagentë të lagësht për të hequr në mënyrë selektive materialet dhe për të formuar modelin e dëshiruar në film;

Reagentët e lëngshëm me pastërti të lartë klasifikohen në tre klasa: UP-S, UP dhe EL sipas pastërtisë së tyre, dhe EL ndahet më tej në:

Klasa elektronike 1 (EL-Ⅰ)
ka një përmbajtje papastërtie metalike prej 100–1000 PPb, e cila është e barabartë me standardin SEMI C1 C2;

Klasa elektronike 2 (EL-Ⅱ)
përmbajtja e tij e papastërtive metalike është 10-100 PPb, ekuivalente me standardin SEMI C7;

Klasa elektronike 3 (EL-Ⅲ)
ka një përmbajtje papastërtie metalike prej 1–10 PPb, e cila është e barabartë me standardin SEMI C7;

Klasa elektronike 4 (EL-IV)
ka një përmbajtje papastërtie metalike prej 0,1–1PPb, e cila është e barabartë me standardin SEMI C8;

Reagentët ultra të pastër dhe me pastërti të lartë njihen ndërkombëtarisht si kimikate të procesit, të njohura edhe si kimikate të lagështa, dhe janë një nga materialet kimike kryesore bazë në procesin e prodhimit të qarqeve të integruara (IC) dhe qarqeve të integruara në shkallë të gjerë (VLSI). .Përdoret gjithashtu për pastrimin dhe gdhendjen e sipërfaqes së vaferës së silikonit.Pastërtia dhe pastërtia e reagentëve ultra të pastër dhe me pastërti të lartë kanë një ndikim shumë të rëndësishëm në rendimentin, vetitë elektrike dhe besueshmërinë e qarqeve të integruara.Ka shumë lloje kimikatesh të shkallës elektronike dhe kërkesa të larta teknike.Ai bazohet në zhvillimin e teknologjisë mikroelektronike.Me zhvillimin e teknologjisë së mikroelektronikës, ajo zhvillohet në mënyrë sinkrone ose përpara kohe.Në të njëjtën kohë, ai kufizon zhvillimin e teknologjisë mikroelektronike.


Koha e postimit: Qershor-23-2022